Дисилицид титана | |
---|---|
Общие | |
Систематическое наименование |
дисилицид титана |
Хим. формула | TiSi2 |
Физические свойства | |
Состояние | твёрдое |
Молярная масса | 104,08 г/моль |
Плотность | 4,04 г/см³ |
Термические свойства | |
Т. плав. | 1540 °C |
Мол. теплоёмк. | 53,96 Дж/(моль·К) |
Теплопроводность | 45,9 Вт/(м·K) |
Энтальпия образования | 135,14 кДж/моль |
Классификация | |
Рег. номер CAS | 12039-83-7 |
PubChem | 6336889 |
Рег. номер EINECS | 234-904-3 |
SMILES | |
InChI | |
ChemSpider | 4891882 и 8329526 |
Приводятся данные для стандартных условий (25 °C, 100 кПа), если не указано иного. |
Дисилицид титана — химическое соединение металла титана и кремния с формулой TiSi2. Содержание кремния в дисилициде титана составляет 53,98 % по массе[1].
Дисилицид титана можно получить одним из следующих способов[2].
Дисилицид титана представляет собой порошок железно−серого цвета. Имеет две полиморфные модификации.
Низкотемпературная метастабильная модификация (C49) имеет ромбическую базоцентрированную решетку, пространственная группа Cmcm, периоды решетки а = 0,362 нм, b = 1,376 нм, c = 0,360 нм[4]. Образование метастабильной модификации имеет место при получении тонких плёнок TiSi2 на подложке из кристалла кремния при температуре 450—600 °C. При нагреве свыше 650 °C низкотемпературная модификация переходит в высокотемпературную[5].
Высокотемпературная модификация (C54) является стабильной и имеет ромбическую гранецентрированную решетку, пространственная группа Fddd, периоды решетки а = 0,8279 нм, b = 0,4819 нм, c = 0,8568 нм.
Дисилицид титана является химически стойким по отношению к азотной, серной, соляной, щавелевой кислотам. Не растворяется в воде и в разбавленных растворах щелочей. Слабо взаимодействует с царской водкой. Дисилицид титана растворяется в плавиковой кислоте и в её смеси с азотной кислотой, а также в растворах фтористого аммония и в щелочных растворах в присутствии винного и лимонного натра и трилона Б [2].
Реагирует с ортофосфорной кислотой по реакции:
Окисляется кислородом при температуре свыше 700 °C. С хлором и фтором взаимодействует при высоких температурах (900 °C в случае хлора)[1][3].
Благодаря низкому электросопротивлению и высокой термической стабильности (фаза C54) используется в виде контактов между полупроводниковым устройством и структурой, поддерживающей межсоединения, в производстве сверхбольших интегральных схем[6][7].
Данная страница на сайте WikiSort.ru содержит текст со страницы сайта "Википедия".
Если Вы хотите её отредактировать, то можете сделать это на странице редактирования в Википедии.
Если сделанные Вами правки не будут кем-нибудь удалены, то через несколько дней они появятся на сайте WikiSort.ru .