WikiSort.ru - Не сортированное

ПОИСК ПО САЙТУ | о проекте
ASML Holding N.V.
Тип публичная (Euronext: ASML, NASDAQ: ASML
Листинг на бирже NASDAQ: ASML и Euronext
Основание 1984
Расположение Велдховен, Нидерланды
Ключевые фигуры Peter Wennink (CEO), Wolfgang Nickl (CFO), Arthur van der Poel (Chairman of the supervisory board)
Отрасль Микроэлектронная промышленность
Продукция фотолитографическая техника для микроэлектронной промышленности
Оборот € 9.053 млрд (2017)
Операционная прибыль €4.077 млрд (2017)
Чистая прибыль €2.153 млрд (2017)
Число сотрудников >16,500 (2016)
Дочерние компании ASML (United States)[d]
Сайт www.asml.com
 ASML на Викискладе

ASML — нидерландская компания, крупнейший производитель фотолитографических систем для микроэлектронной промышленности. Компания производит оборудование для изготовления СБИС, таких как микросхемы памяти ЗУПД, флеш-память, микропроцессоры.

Продукция

Корпоративное здание ASML в Veldhoven

Фотолитографические установки ASML используются в производстве интегральных микросхем. В таких установках происходит процесс оптического проецирования специальных частично прозрачных шаблонов (масок) на поверхность полупроводниковой пластины, покрытую тонкой пленкой светочувствительного материала (фоторезиста). Для каждой пластины эта процедура повторяется несколько десятков раз. После каждого проецирования происходит обработка пластины с нанесенным фоторезистом, в процессе которой формируются электронные структуры микросхем. Оптический метод, применяемый в установках ASML, используется в настоящее время для производства практически всех интегральных схем.

Лидирующим поставщиком устройств для литографии ASML стала в 2002 году[1]. На 2007 год, ASML имеет долю рынка продаж фотолитографического оборудования в 65 % (во всем мире)[2]. Компания тесно сотрудничает с немецкой фирмой Цейс (Zeiss), которая является её основным поставщиком оптики. Конкурентами компании являются Canon и Nikon. На 2008 год, установка ASML высшего класса Twinscan XT:1950 может использоваться с техпроцессами вплоть до 38нм[3] со скоростью до 131 пластины в час. В установке используется иммерсионная литография с водяной прослойкой и аргон-фторидный (argon-fluoride, ArF) эксимерный лазер с длиной волны 193 нм. На тот же момент, в среднем, литографическая установка стоила 22 млн евро.[3] В 2009 году, ASML разрабатывала установки с лазерами на 13.5 нм (EUVL). 22 Апреля 2009, бельгийский исследовательский центр Imec представил работоспособные чипы КМОП SRAM выполненные по техпроцессу 22 нм на прототипе установки ASML с EUVL.[4]


Компания

ASML центральный офис компании находится в Велдховене, Нидерланды. Там же находятся исследовательские и производственные подразделения. Потребители ASML находятся в разных странах, компания имеет более 60 пунктов обслуживания в 16 странах. Акции компании торгуются на AEX и NASDAQ под названием ASML.

Компания, изначально называвшаяся ASM Lithography[5], была основана в 1984 как совместное предприятие компаний Advanced Semiconductor Materials International (ASMI) и Philips. В настоящее время только небольшая часть акций принадлежит Philips.[6]

Продукция

Основные серии литографов ASML:[7]

  • 1984: PAS 2000, разрешение до 1 мкм, точность позиционирования до 250 нм
  • 1989: PAS 5000, разрешение около 0.5 мкм, точность до 100 нм
  • 1990-е: PAS 5500, разрешение 400-90 нм, точность до 100-12 нм
  • 2000-е: семейство TWINSCAN (NX, NXT), разрешение 100-38 нм, точность до 20-2 нм
  • 2010-е: экспериментальные EUV системы TWINSCAN NXE,разрешение 38-19 нм, точность лучше 3 нм

Российские пользователи

В России использование степперов (литографов) ASML планировалось (по состоянию на 2008 год) на фабрике Ангстрем-Т[8]

Среди российских пользователей ASML также можно отметить НИИСИ, который использует установку проекционной пошаговой мультипликации (степпер) ASML PAS 5500/250С.[9][10]

Установки ASML используются на передовой линии по производству микросхем в Зеленограде на заводе Микрон (PAS 5500/750F 248 nm/0.7 120 пластин в час и PAS/1150C 193 nm/0.75 135 пластин в час[11])

Примечания

  1. ↑ Chris Mack. Milestones in Optical Lithography Tool Suppliers 12 (2005). — «ASML (4)». Проверено 3 декабря 2013.
  2. ↑ ASML Press release 2007 quarter 4 "ASML increased global market share measured in net sales to 65 percent in 2007"
  3. 1 2 Press release 2008 quarter 3
  4. ↑ IMEC presents functional 22nm SRAM cells fabricated using EUV technology (недоступная ссылка). IMEC press release, 22 April 2009.
  5. ↑ About ASML: Questions and Answers. ASML Holding. Проверено 3 августа 2010. Архивировано 4 июля 2012 года.
  6. ↑ ASML corporate history
  7. ↑ https://indico.cern.ch/event/275412/session/6/contribution/22/material/slides/0.pdf#page=40
  8. ↑ Проект “Ангстрем-Т”: первая российская smart-foundry. // Электроника НТБ 2008: "Мы предполагаем работать на уровне 0,11–0,13 мкм. Это возможно, поскольку именно таково технологическое разрешение степперов (литографов) компании ASML."
  9. ↑ http://nanotech.iu4.bmstu.ru/learning_program/magistr/doc/primer.doc (недоступная+ссылка) "На технологической линии НИИСИ РАН используется проекционная литографическая установка PAS5500/250C фирмы ASML "
  10. ↑ Архивированная копия (недоступная ссылка). Проверено 12 ноября 2010. Архивировано 6 сентября 2014 года. "с использованием установки пошаговой мультипликации ASML PAS 5500/250С"... "ТП фотолитографии на фабрике НИИСИ РАН."
  11. ↑ Микроэлектронная индустрия в России (2012) / Хабрахабр

Ссылки

  • asml.com — официальный сайт ASML

Данная страница на сайте WikiSort.ru содержит текст со страницы сайта "Википедия".

Если Вы хотите её отредактировать, то можете сделать это на странице редактирования в Википедии.

Если сделанные Вами правки не будут кем-нибудь удалены, то через несколько дней они появятся на сайте WikiSort.ru .



Текст в блоке "Читать" взят с сайта "Википедия" и доступен по лицензии Creative Commons Attribution-ShareAlike; в отдельных случаях могут действовать дополнительные условия.

Другой контент может иметь иную лицензию. Перед использованием материалов сайта WikiSort.ru внимательно изучите правила лицензирования конкретных элементов наполнения сайта.

2019-2024
WikiSort.ru - проект по пересортировке и дополнению контента Википедии