Вторичная электронная эмиссия — испускание электронов поверхностью металлов, полупроводников или диэлектриков при бомбардировке их пучком электронов (первичными электронами). Иными словами это электроны, входившие в состав образца и получившие от падающих электронов достаточно энергии для выхода из образца. Вторичный электронный поток состоит из электронов, отраженных поверхностью (упруго и неупруго отраженные электроны), и «истинно» вторичных электронов — электронов, выбитых из металла, полупроводника или диэлектрика первичными электронами.
В достаточно тонких эмиттерах длина пробега первичных электронов может превышать толщину эмиттера. В этом случае вторичная электронная эмиссия наблюдается как с поверхности, подвергаемой бомбардировке (вторичная электронная эмиссия на отражение), так и с противоположной поверхности (вторичная электронная эмиссия на прострел). Поток вторичных электронов складывается из отражённых (упруго и неупругого) первичных электронов и истинно (собственно) вторичных электронов — электронов эмиттера, получивших в результате их возбуждения первичными энергию и импульс, достаточные для выхода в вакуум. Вторичные электроны имеют непрерывный энергетический спектр от 0 до энергии первичных электронов. Тонкая структура на отдельных участках энергетического спектра обусловлена характеристическими потерями энергии на возбуждение атомов вещества и Оже-эффектом.
Механизм упругого отражения электронов существенно различен в области малых (0 — 100 эВ), средних (0,1 — 1 кэВ) и больших (1 — 100 кэВ) энергий первичных электронов.
Отношение числа вторичных электронов к числу первичных , вызвавших эмиссию, называется коэффициентом вторичной электронной эмиссии: ,
Коэффициент зависит от природы материала поверхности, энергии бомбардирующих частиц и их угла падения на поверхность. У полупроводников и диэлектриков больше, чем у металлов. Это объясняется тем, что в металлах, где концентрация электронов проводимости велика, вторичные электроны, часто сталкиваясь с ними, теряют свою энергию и не могут выйти из металла. В полупроводниках и диэлектриках же из-за малой концентрации электронов проводимости столкновения вторичных электронов с ними происходят гораздо реже и вероятность выхода вторичных электронов из эмиттера возрастает в несколько раз.
Вторичная электронная эмиссия используется для усиления электронных потоков в различных электровакуумных приборах: (вторично-электронных, фотоэлектронных умножителях и др.). Вторичная электронная эмиссия играет важную роль в образовании и развитии ВЧ и вторично-эмиссионного разряда (в электровакуумных приборах СВЧ). В определённых случаях вторичная электронная эмиссия нежелательна (например, динатронный эффект в электронных лампах).
Явление вторичной электронной эмиссии используется также в электронной литографии, оказываясь основным фактором засвечивания резиста.
В датчиках электронов растровых электронных микроскопов явление вторичной электронной эмиссии позволяет получать микрофотографии рельефа поверхности.
Данная страница на сайте WikiSort.ru содержит текст со страницы сайта "Википедия".
Если Вы хотите её отредактировать, то можете сделать это на странице редактирования в Википедии.
Если сделанные Вами правки не будут кем-нибудь удалены, то через несколько дней они появятся на сайте WikiSort.ru .