Трихлорсилан | |
---|---|
![]() | |
Общие | |
Хим. формула | SiHCl3 |
Физические свойства | |
Молярная масса | 135.45 г/моль |
Плотность | 1.342 г/см³ |
Термические свойства | |
Т. плав. | −126.6 °C |
Т. кип. | 31.8 °C |
Классификация | |
Рег. номер CAS | 10025-78-2 |
PubChem | 24811 |
Рег. номер EINECS | 233-042-5 |
SMILES | |
InChI | |
RTECS | VV5950000 |
Номер ООН | 1295 |
ChemSpider | 23196 |
Приводятся данные для стандартных условий (25 °C, 100 кПа), если не указано иного. |
Трихлорсила́н (ТХС, силан трёххлористый, силана трихлорид, силикохлороформ, трихлормоносилан) — кремнийсодержащее неорганическое соединение, при 20 °C и атмосферном давлении бесцветная легколетучая прозрачная жидкость.
Прозрачная жидкость с резким запахом, гидролизуется влагой воздуха. Производство данного продукта требует от персонала повышенной внимательности и осторожности ввиду токсичности трихлорсилана. Попадание на кожу даже небольших капелек чревато, как минимум, весьма болезненным и плохо заживающим химическим ожогом; большое кол-во же способно причинить тяжёлые увечья, вплоть до отделения мышечной ткани от костей.
Трихлорсилан является сырьём для производства поликристаллического кремния, моносилана и дихлорсилана (которые также используются в синтезе поликремния), основного ряда кремнийорганических мономеров. Кроме того, существуют другие области применения трихлорсилана. Например, микроэлектроника, где он используется для эпитаксиального осаждения пленок монокристаллического кремния.
Мировой рынок трихлорсилана, используемого для производства поликремния, разделен между США, Японией, Германией и Италией. В бывшем СССР мощности по синтезу трихлорсилана были сосредоточены на Украине, поэтому после 1991 года производства трихлорсилана в России не оказалось. Сейчас трихлорсилан производится только на четырех российских предприятиях в гг. Усолье-Сибирское, в г. Новосибирск ООО "Альфагаз", г.Дзержинск ООО "Фирма "ХОРСТ" , Новочебоксарске[1] и на Украине, в г. Запорожье.
Данная страница на сайте WikiSort.ru содержит текст со страницы сайта "Википедия".
Если Вы хотите её отредактировать, то можете сделать это на странице редактирования в Википедии.
Если сделанные Вами правки не будут кем-нибудь удалены, то через несколько дней они появятся на сайте WikiSort.ru .